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三坐標(biāo)測量儀三軸均有氣源制動(dòng)開關(guān)及微動(dòng)裝置，可實(shí)現(xiàn)單軸的精密傳動(dòng)，采用高性能數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。應(yīng)用于產(chǎn)品設(shè)計(jì)、模具裝備、齒輪測量、葉片測量機(jī)械制造、工裝夾具、汽模配件、電子電器等精密測量。
中文名 三坐標(biāo)測量儀 外文名 Trilinear coordinates measuring instrument;Coordinate measuring machine (CMM) X    軸  2500 mm Z    軸  1000 mm Y    軸  1500 mm 領(lǐng)    域 工程技術(shù)

功能原理
簡單地說，三坐標(biāo)測量機(jī)就是在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(大型和巨型不一定有)，測頭可以以手動(dòng)或機(jī)動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來的一種測量設(shè)備。顯然這是簡單、原始的測量機(jī)。有了這種測量機(jī)后，在測量容積里任意一點(diǎn)的坐標(biāo)值都可通過讀數(shù)裝置和數(shù)顯裝置顯示出來。測量機(jī)的采點(diǎn)發(fā)訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個(gè)軸的方向裝有光柵尺和讀數(shù)頭。其測量過程就是當(dāng)測頭接觸工件并發(fā)出采點(diǎn)信號時(shí)，由控制系統(tǒng)去采集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對于機(jī)床原點(diǎn)的坐標(biāo)值，再由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。

主要特征
三軸采用天然高精密花崗巖導(dǎo)軌，保證了整體具有相同的熱力學(xué)性能，避免由于三軸材質(zhì)不同熱膨脹系數(shù)不同所造成的機(jī)器精度誤差。
花崗巖與航空鋁合金的比較
1.鋁合金材料熱膨脹系數(shù)大。一般使用航空鋁合金材料的橫梁和Z軸在使用幾年之后，三坐標(biāo)的測量基準(zhǔn)——光柵尺就會受損，精度改變。
2.由于三坐標(biāo)的平臺是花崗巖結(jié)構(gòu)，這樣三坐標(biāo)的主軸也是花崗巖材質(zhì)。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質(zhì)，在溫度變化時(shí)會因?yàn)槿S的熱膨脹系數(shù)不均同而引起測量精度的失真和穩(wěn)定。
三軸導(dǎo)軌采用全天然花崗巖四面全環(huán)抱式矩形結(jié)構(gòu)，配上高精度自潔式預(yù)應(yīng)力氣浮軸承，是確保機(jī)器精度長期穩(wěn)定的基礎(chǔ)，同時(shí)軸承受力沿軸向方向，受力穩(wěn)定均衡，有利于保證機(jī)器硬件壽命。
3. 采用小孔專利技術(shù)，耗氣量為30L/Min，在軸承間隙形成冷凝區(qū)域，抵消軸承運(yùn)動(dòng)摩擦帶來的熱量，增加設(shè)備整體熱穩(wěn)定性。仔細(xì)研究各廠家的技術(shù)指標(biāo)，會發(fā)現(xiàn)： 歐潼精密的耗氣量為30L/Min，而其他的廠家在50-150L/MIN之間. 按照物理學(xué)理論，當(dāng)氣體以一定的壓力通過圓孔的時(shí)候，會因?yàn)闅怏w摩擦產(chǎn)生熱量，在高精密測量中，微小的熱量也會影響精度的穩(wěn)定性，而當(dāng)孔的孔徑小于一定的直徑的時(shí)候，卻會相反的會在孔的周圍形成冷凝效應(yīng)! 正是利用這一物理學(xué)原理，采用歐潼小孔的技術(shù)，使得冷凝效應(yīng)恰恰抵消測量中因?yàn)榭諝饽Σ廉a(chǎn)生的微弱熱量，使得設(shè)備保持長時(shí)間的溫度穩(wěn)定性，從而保證精度穩(wěn)定性！
各大供應(yīng)商CMM軸承對比
4. 三軸均采用英國RENISHAW原裝鍍金光柵尺，分辨率為0.1um；同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形。
5.傳動(dòng)系統(tǒng)采用國際的設(shè)計(jì)，無任何導(dǎo)軌受力變形，程度保證機(jī)器精度和穩(wěn)定性。采用鋼絲增強(qiáng)同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，有效減少高速運(yùn)動(dòng)（增加）時(shí)的震動(dòng)，具有高強(qiáng)度，高速度及無磨損特點(diǎn)。
6. 軟件為PTB全面認(rèn)證的RATIONAL-DMIS，功能強(qiáng)大，簡單易學(xué)，讓你更專注于產(chǎn)品測量而不是學(xué)習(xí)軟件。

儀器簡介
三坐標(biāo)測量儀是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)量床。三坐標(biāo)測量儀又可定義“一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個(gè)軸的位移測量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）及各項(xiàng)功能測量的儀器”。三坐標(biāo)測量儀的測量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等 [1]  。
機(jī)型介紹
結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)
傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm
測頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針
機(jī) 臺：高精度（00級）花崗巖平臺
使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa
空氣流量：25 L/min
長度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)
探測球精度MPEp： ≤2.1μm
Z軸平衡的調(diào)整
測量機(jī)的Z軸平衡分為重錘和氣動(dòng)平衡，主要用來平衡Z軸的重量，使Z軸的驅(qū)動(dòng)平穩(wěn)。如果誤動(dòng)氣壓平衡開關(guān)，會使Z軸失去平衡。處理的方法：
1) 將測座的角度轉(zhuǎn)到90°，避免操作過程中碰測頭。
2) 按下“緊急停”開關(guān)。
3) 一個(gè)人用雙手托住Z軸，向上推、向下拉，感覺平衡的效果。
4) 一人調(diào)整氣壓平衡閥，每次調(diào)整量小一點(diǎn)，兩人配合將Z軸平衡調(diào)整到向上和向 下的感覺一致即可。
行程終開關(guān)是用于機(jī)器行程終保護(hù)和HOME時(shí)使用。行程終開關(guān)一般使用接觸式開關(guān)或光電式開關(guān)。開關(guān)式容易在用手推動(dòng)軸運(yùn)動(dòng)時(shí)改變位置，造成接觸不良。可以適當(dāng)調(diào)整開關(guān)位置保證接觸良好。光電式開關(guān)要注意檢查插片位置正常，經(jīng)常清除灰塵，保證其工作正常   。
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